超聲波清洗儀器的出現替代了常規的清洗方式，利用高中低頻不同的超聲波頻率劃（huá）分了（le）多種用途的超聲波清洗機以提高（gāo）清洗效率及清洗結果，那麽高中低頻不（bú）同的超聲波頻率之間的清洗作用又有什麽區（qū）別呢？

      超聲波是一種機械波，是機械振動在媒質中的傳播（bō）。當超聲波在（zài）液體中傳播時，液體質點受到聲波的擾（rǎo）動後會在其平衡位置附近做微小振動，液體（tǐ）質點沒有宏觀上的移動（dòng）和遷移，但其振動速度和加速度很大。例如聲強為1. 0W/cm2、頻率為20 kHz的超聲波在水中傳（chuán）播(暫不考（kǎo）慮其非線性效應)，如果液體質點位移振幅為5μm，則質點要經受壓力（lì）在（zài）正負1. 68atm之間（jiān）以每秒2萬次的重複頻率做周期（qī）性變化的作用，質點振動速度約為0，63m/s，而振動的加速（sù）度達到（dào）7.9X10*m/s' ，大約為重力加速度的8000倍。這樣激烈而快速變化的機械運（yùn）動，於附著在固體（tǐ）表麵（miàn）的灰塵等不溶（róng）性固體（tǐ）顆粒，強大的剪切作用足以使（shǐ）固體顆粒從待清洗物體（tǐ）表麵脫落，從（cóng）而達到清洗的目的。

      當超聲波的（de）頻率增加到幾百千赫的高頻時，波長短了，λ=0.7~1.5mm，聲（shēng）場中質點的稠密區與稀疏區（qū）界（jiè）線模糊，液態聲（shēng）場中空化現象幾乎消失（shī），超聲能量表現為媒質質點加速度（dù）能量。例如在矽晶片及光刻清洗中，使用950 kHz超（chāo）聲波，兩個波峰之間的時間僅為1. 05μs，不足以形成空化泡，但能（néng）量將（jiāng）達到重力加速度的10倍，兆級超聲波清洗體現在液態質點對（duì）工件表麵每（měi）秒95萬（wàn）次的精細擦洗上。這足以使清洗液迅速擴散到基片(工件)與粒子(汙物)之間，使工件表麵水化，變得濕潤。液膜作（zuò）用如同尖劈，使粒子從基片脫落，同（tóng）時液膜也進一步 防止了粒子對基片的二次吸附，這對去除亞微米粒子很有效果。