超精密清洗包括精密（mì）工業生產過程中對機械零件、電子元件，光學部件等的超精（jīng）密清洗，以去除極微（wēi）小汙垢顆粒為目的。

超聲波清洗機根據清洗方法（fǎ）的不同，也可（kě）以分為物理清洗（xǐ）和化學清洗：利用（yòng）力學、聲學、光學，電學（xué）、熱學的原理，依靠外來能量（liàng）的作用（yòng），如機械摩（mó）擦、超聲波、負壓、高壓（yā）)。紫外線、蒸汽等（děng）去除物體表麵汙垢的方法叫物理（lǐ）清洗；依靠化學反應的作用，利用化學藥品或其它溶劑（jì）去（qù）除物體表（biǎo）麵汙垢的方法叫化學清洗。如用各種無機或有機酸去除物體表麵的鏽跡、水垢，用氧化劑去除物體表麵的色斑。消毒劑殺滅微生物並去除黴斑等。物理清洗和化學清（qīng）洗都存在著（zhe）各自的優缺點，又具有很好的互補性。在實際應用過程中（zhōng），通（tōng）常都是把兩者結合起來（lái）使用，以獲得較好的清洗效果。

根據清（qīng）洗媒（méi）介的不同，又（yòu）可以分（fèn）為濕式清（qīng）洗和（hé）幹式清洗：一般（bān）將在液體介質中進行的（de）清洗稱為濕式清洗，在（zài）氣體介質（zhì）中進行的（de）清洗稱為幹式清洗．傳統的清洗（xǐ）方式大（dà）多為濕式（shì）清洗，而人們（men）比較容易理解的幹式清洗也就是吸塵器。但近年來，幹式清洗發（fā）展迅速（sù）．如激光清洗。紫外線清洗，等離子清洗、幹冰清洗等（děng），在高，精，尖工業技術（shù）領域得到快速（sù）發展。